什么是ICP-MS？它主要是一种常用的质谱仪产品，主要的组成部分包括离子源、真空系统、接口、质量分析器、离子镜及检测器等，被广泛应用于半导体、地质、生物制药及环境等行业当中。ICP-MS样品，通过离子源离子化，就会形成离子流。通过接口进入到真空系统，在离子镜内，负离子、中性粒子等会被拦截，只有正离子可以正常通过，同时达到聚焦的效果。在分析器当中，可以改变分析器参数的设置，进而让核质比的元素离子，顺利通过并且进入到检测器。
其一、ICP-MS的离子源，主要是产生等离子体，同时让样品离子化的部分。主要组成部分包括四个，分别是工作线圈、等离子体、进样系统及气路控制等。样品由进样系统导入，如果是溶液样品的话，则通过雾化器等设备进入等离子体。气体样品的话，则可以直接导入等离子体，RF工作线圈为等离子体，提供所需的能量。
其二、ICP-MS的真空系统，因为ICP-MS的主要作用，则是用来检测物种的痕量元素，空气当中的灰尘含有大量的各种元素，在这种情况下，ICP-MS当中的真空要求相对较高。从进样系统一直到炬管，ICP-MS一直是在常压下工作的。在点火之前，氩气则可以驱除管路当中的空气。一旦离子产生后，则会对这些离子的聚焦、传输、选择分析，要求良好的真空系统，以免在过程中粘污。
其三、ICP-MS的质量分析器，是不同种类的ICP-MS的主要区别之处。其中四级杆分析器是一种成熟的质量分析仪器，它主要是利用四级杆对不同核质比的元素离子筛选，进而达到顺序分析离子质量的目的。
当然，对于人们来说，在对原子光谱进行使用的时候，也是同样的道理，应当要明确相关组成部分。
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